SEMI EDA Standard Compliance Solution
SEMI EDA STANDARD
What is EDA Standard?
반도체 제조 기술의 지속적인 발전과 더불어 장비 Design, Process의 복잡성이 증가함에 따라, 장비 분석을 위한 양질의 Data(제조 Bigdata)가 필요하게 되었습니다.
SEMI Global Information & Control Technical Committee는 2000년대 초반부터 SECS/GEM* Protocol과 분리하여, 신뢰성 있는 장비 Data 분석을 위해 장비로부터 독립된 Data Channel로 대용량, High Friquency Data를 위한 전용 Protocol을 개발하였고. 이를 EDA(Equipment Data Acquisition) Standard라 명명하게 되었습니다.
EDA Standard는 2005년 Freeze.1, 2010년 Freeze.2를 거쳐, Freeze.3의 개발을 목전에 두고 있습니다.
특히, EDA는 대용량, High Frequency 장비 Data 수집은 물론, Multi-Session, Multi-Client의 Web Service 기술을 활용한 Data Service Platform으로써 다양한 분석 Application들을 위한 새로운 Data 생태계를 제공합니다.
* SECS/GEM: 장비 제어를 목적으로 하는 반도체 표준 통신 프로토콜 (Semiconductor Equipment Communication Standard, & Generic Equipment Model)
SEMI EDA Freeze.2
SEMI EDA Freeze.2
| 특징 | SECS/GEM | EDA |
|---|---|---|
| Data Rates | 10 variables per Chamber 300 values/sec |
50 variables per Chamber 5000 values/sec |
| Event Data | Process Event | Process Event Physical, Mechanical Event |
| Self-Describing | Data ID만 존재 | 설비구조를 Data화 |
| Secure Communications | Only 설비 Host | Security Admin을 통한 보안 e-Diagnostic |
| Configuration | Socket | HTTP(SOAP XML) |
ANTICIPATED EFFECTS
EDA Client = Data Service Platform
제조 현장에서 수집되는 데이터를 분석 시스템의 요구에 맞는 컨텍스트 기반의 데이터세트로 쉽고 빠르게 변환하는 실시간 데이터 파이프라인을 실현합니다.
ANTICIPATED EFFECTS
EDA Client = Data Service Platform
제조 현장에서 수집되는 데이터를 분석 시스템의 요구에 맞는 컨텍스트 기반의 데이터세트로 쉽고 빠르게 변환하는 실시간 데이터 파이프라인을 실현합니다.
자유로운 데이터 수집
자유로운 데이터 수집
Data Channel 분리에 따른 자유로운 Data 수집이 가능함
장비 기준 정보 표준화
장비 기준 정보 표준화
EDA에 기반한 장비 기준 정보 통합 관리를 통해 다양한 분석 시스템에서 일관된 방식으로 데이터 활용이 가능함
더 많은 고품질 데이터 확보
더 많은 고품질 데이터 확보
요구 데이터 사양화 및 관리가 수월해짐에 따라 더 많은 고품질 데이터 확보가 가능함
분석 결과의 적확성 향상
분석 결과의 적확성 향상
기존 분석 시스템 간 데이터 의존성을 제거함에 따라 수요 데이터의 원활한 공급이 가능해지고 보다 적확한 분석 결과를 기대할 수 있음
Manufacturing Big Data Platform
HIGHLIGHTS
Plug and Play Data Service
제조 현장에서 수집되는 데이터를 분석 시스템의 요구에 맞는 컨텍스트 기반의 데이터세트로 쉽고 빠르게 변환하는 실시간 데이터 파이프라인을 실현합니다.
- 다양한 산업 표준 인터페이스 연동 지원
- 레가시 인터페이스 연동 지원
- 소스 데이터의 신뢰성 향상
- 수집 및 전처리 개발 기간 단축 및 비용 절감
- 효율적인 빅데이터 분석 기반 구축
ARCHITECTURE
Plug and Play Data Service Platform
ARCHITECTURE
Plug and Play Data Service Platform
ROADMAP OF MANUFACTURING BIGDATA APPLICATIONS
Accelerate Equipment Evolution
ROADMAP OF MANUFACTURING BIGDATA APPLICATIONS
Accelerate Equipment Evolution
BIG DATA UTILIZATION
Completion of A.I Driven Equipment Evolution
BIG DATA UTILIZATION
Completion of A.I Driven Equipment Evolution
Accelerate Your AI Projects
EQUAL=A
Benefits of EDA Utilization
EQUAL=A
Benefits of EDA Utilization
비용 최소화
EDA 서버를 탑재하는 장비라면 데이터 수집을 위한 별도의 개발 투자가 필요없습니다.
구축 시간 최소화
두플의 이미 준비된 EDA Host 제품을 활용하기 때문에 Session 및 DCP 셋업만으로도 데이터 수집 및 실시간 처리 환경이 갖춰집니다.
검증된 데이터 활용
EDA 지원 장비는 공정 현장 검증을 통해 확보된 데이터 품질의 혜택을 그대로 누릴 수 있습니다.
유연한 데이터 수정
EDA 표준에 따른 Data Collection Plan 만으로도 장비에서 제공하는 모든 데이터를 유연하게 수집할 수 있습니다.
EQUAL=A
All Done in a single Machine
EQUAL=A
All Done in a single Machine
EQUAL=A
All Done in a Single Day
EQUAL=A
All Done in a Single Day
- 1000+ Parameters
- 1000+ Events
- All Exception
- EDA 데이터 소스 설정
- Virtual parameters / Event 정의
- Data 분류 및 필터 설정
- Data Context, Alias, Dataset Packaging 설정
- Target Value, LSL, USL Patterns for 150 Parameters
- Anomoly Detection Conditions
No-Code
Configure data collection, processing workflow and analysis WITHOUT DEVELOPMENT
EQUAL=A
Feed into your projects
EQUAL=A
Feed into your projects
Dataset Notifications
Equal=A Data Processor는 데이터셋이 생성되면 redis를 통해 데이터셋 정보를 알려줍니다. 실시간으로 데이터 생성 알림을 받으려면 Data Process Workflow에서 정의하는 redis subscription 정보를 이용합니다.
Search APls
기간과 RecipeID, LotID, Wafer No. 등의 context를 조건으로 하여 Fingerprint 데이터를 검색할 수 있는 일련의 API를 제공합니다. 자체적으로 구축하는 분석 시스템에 쉽게 연동할 수 있습니다.
Analysis Result Notifications
데이터셋 분석 결과도 생성되는 즉시 알림을 받을 수 있습니다. 자체적으로 대시보드를 만들거나 실시간 인터락 등으 사후 조치에 활용할 수 있습니다.
Download APls
검색된 Fingerprint 데이터는 공정의 길이에 따라 다양한 크기로 생성되며, BOB 데이터의 크기도 상이하다고 언급하고 있습니다. Pattern FDC 서버는 Fingerprint 데이터를 관리하고, Download API를 통해 암호화된 BOB와 Fingerprint 데이터를 받을 수 있는 방법을 소개하고 있습니다.
PARTNERS
BUSINESS PARTNERS
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두플의 기술과 서비스를 신뢰해주시는 고객 여러분의 성원에 감사드립니다. 끊임없는 혁신과 도전으로 고객 감동을 실현하겠습니다.
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