SEMI EDA Standard Compliance Solution
SEMI EDA STANDARD
What is EDA Standard?
반도체 제조 기술의 지속적인 발전과 더불어 장비 Design, Process의 복잡성이 증가함에 따라, 장비 분석을 위한 양질의 Data(제조 big data)가 필요하게 되었습니다.
SEMI Global Information & Control Technical Committee는 2000년대 초반부터 SECS/GEM* Protocol과 분리하여, 신뢰성 있는 장비 Data 분석을 위해 장비로부터 독립된 Data Channel로 대용량, High Frequency Data를 위한 전용 Protocol을 개발하였고. 이를 EDA(Equipment Data Acquisition) Standard라 명명하게 되었습니다.
EDA Standard는 2005년 Freeze.1, 2010년 Freeze.2를 거쳐, Freeze.3의 개발을 목전에 두고 있습니다.
특히, EDA는 대용량, High Frequency 장비 Data 수집은 물론, Multi-Session, Multi-Client의 Web Service 기술을 활용한 Data Service Platform으로써 다양한 분석 Application들을 위한 새로운 Data 생태계를 제공합니다.
* SECS/GEM: 장비 제어를 목적으로 하는 반도체 표준 통신 프로토콜 (Semiconductor Equipment Communication Standard, & Generic Equipment Model)
SEMI EDA Freeze.2
SEMI EDA Freeze.2
| 특징 | SECS/GEM | EDA |
|---|---|---|
| Data Rates | 10 variables per Chamber 300 values/sec |
50 variables per Chamber 5000 values/sec |
| Event Data | Process Event | Process Event Physical, Mechanical Event |
| Self-Describing | Data ID만 존재 | 설비구조를 Data화 |
| Secure Communications | Only 설비 Host | Security Admin을 통한 보안 e-Diagnostic |
| Configuration | Socket | HTTP(SOAP XML) |
ANTICIPATED EFFECTS
EDA Client = Data Service Platform
제조 현장에서 수집되는 데이터를 분석 시스템의 요구에 맞는 컨텍스트 기반의 데이터세트로 쉽고 빠르게 변환하는 실시간 데이터 파이프라인을 실현합니다.
ANTICIPATED EFFECTS
EDA Client = Data Service Platform
제조 현장에서 수집되는 데이터를 분석 시스템의 요구에 맞는 컨텍스트 기반의 데이터세트로 쉽고 빠르게 변환하는 실시간 데이터 파이프라인을 실현합니다.
자유로운 데이터 수집
자유로운 데이터 수집
Data Channel 분리에 따른 자유로운 Data 수집이 가능함
장비 기준 정보 표준화
장비 기준 정보 표준화
EDA에 기반한 장비 기준 정보 통합 관리를 통해 다양한 분석 시스템에서 일관된 방식으로 데이터 활용이 가능함
더 많은 고품질 데이터 확보
더 많은 고품질 데이터 확보
요구 데이터 사양화 및 관리가 수월해짐에 따라 더 많은 고품질 데이터 확보가 가능함
분석 결과의 적확성 향상
분석 결과의 적확성 향상
기존 분석 시스템 간 데이터 의존성을 제거함에 따라 수요 데이터의 원활한 공급이 가능해지고 보다 적확한 분석 결과를 기대할 수 있음
OPC UA Standard Compliance Solution
OPC UA STANDARD
What Is OPC UA Standard?
OPC UA(OPC Unified Architecture)는 산업 자동화 장비와 시스템 간의 표준화된 데이터 통신 프로토콜입니다. 기존 OPC Classic의 Windows/COM 종속성을 벗어나 플랫폼 독립적이고 보안이 강화된 차세대 표준입니다.
- 플랫폼 독립성: Windows뿐 아니라 Linux, 임베디드 시스템에서도 동작하며, 전송 프로토콜도 TCP/IP 기반으로 방화벽 친화적입니다.
- 강화된 보안: 인증, 암호화, 전자서명을 표준으로 지원하고, 정보 모델을 통해 단순 데이터가 아닌 의미와 구조까지 전달할 수 있습니다.
- 주요 서비스: Read/Write로 실시간 데이터를 읽고 쓰고, Method Call로 장비 제어 명령을 실행하고, Subscription을 통해 데이터 변화를 효율적으로 모니터링합니다.Address Space는 계층 구조로 정보를 조직화하는 핵심 개념으로, 시스템의 정보 모델을 구성합니다.
Brief OPC UA
OPC Classic vs. OPC UA
| 항목 | OPC Classic | OPC UA |
|---|---|---|
| 플랫폼 | Windows만 | 모든 OS |
| 보안 | 없음 | 암호화/인증 |
| 방화벽 | 복잡 (다수 포트) | 간단 (단일 포트) |
| 데이터 모델 | 단순 태그 | 계층적 객체 |
| 확장성 | 수만 태그 | 수백만 태그 |
| 클라우드 | 어려움 | 네이티브 지원 |
| 개발 생태계 | 레거시 | 현대적 |
| 표준화 | 제한적 | Companion Specs |
| 유지보수 | 어려움 | 용이 |
| 미래 전망 | EOL 우려 | 지속 발전 |
-
플랫폼 독립성
- –COM의 아키텍처 한계로 인한 성능 병목
- –메모리 누수, 응답 지연 등의 문제가 자주 발생
-
내장 보안
- –X.509 인증서 기반 상호 인증
- –전송 암호화: AES-128/256, RSA 지원
- –메시지 무결성: SHA-256 서명
- –사용자 인증
-
풍부한 정보 모델
- –계층적 Address Space – 객체 지향 모델링
- –복잡한 데이터 타입 지원
- –풍부한 메타데이터
- –의미론적 관계 표현 가능
-
개선된 성능
- –수십만~수백만 태그 처리 가능
- –멀티스레드 아키텍처 – 병렬 처리
- –Subscription 기반 – 효율적 데이터 전송
- –데이터 압축 옵션 및 Chunk 전송
OPC UA Solutions
OPC UA Clients & Servers
Manufacturing Big Data Platform
HIGHLIGHTS
Plug and Play Data Service
제조 현장에서 수집되는 데이터를 분석 시스템의 요구에 맞는 컨텍스트 기반의 데이터세트로 쉽고 빠르게 변환하는 실시간 데이터 파이프라인을 실현합니다.
- 다양한 산업 표준 인터페이스 연동 지원
- 레거시 인터페이스 연동 지원
- 소스 데이터의 신뢰성 향상
- 수집 및 전처리 개발 기간 단축 및 비용 절감
- 효율적인 빅데이터 분석 기반 구축
ARCHITECTURE
Plug and Play Data Service Platform
ARCHITECTURE
Plug and Play Data Service Platform
DX/AX PLATFORM ROADMAP
Solution Architecture
DX/AX PLATFORM ROADMAP
Solution Architecture
Accelerate Your AI Projects
Key Takeaways
Standardization Benefits
Key Takeaways
Standardization Benefits
비용 최소화
EDA 및 OPC UA 서버가 구축된 현장에서는 데이터 수집을 위한 별도의 개발 투자가 필요 없습니다.
구축 시간 최소화
두플의 이미 준비된 Factory-wide Host 제품을 활용하기 때문에 별도의 개발 없이도 데이터 수집 및 실시간 처리 환경이 갖춰집니다.
검증된 데이터 활용
공정 현장 검증을 통해 확보된 데이터 품질의 혜택을 그대로 누릴 수 있습니다.
유연한 데이터 수집
표준에 따른 Data Collection 설정만으로도 장비에서 제공하는 모든 데이터를 유연하게 수집할 수 있습니다.
SCALABLE SYSTEM CONFIGURATIONS
Start Small and Build it up
SCALABLE SYSTEM CONFIGURATIONS
Start Small and Build it up
QUICK SETUP
No-Code Easy Setup
QUICK SETUP
No-Code Easy Setup
- 1000+ Parameters
- 1000+ Events
- Every Alarm
- 데이터 소스 설정
- Virtual parameter / Event 정의
- Data 분류 및 필터 설정
- Data Context, Alias, Dataset Packaging 설정
- Target Value, LSL, USL Pattern for 150 Parameters
- Anomaly Detection Conditions
Easy Integration
Feed into your projects
Easy Integration
Feed into your projects
Dataset Notifications
Equal=A Data Processor는 데이터셋이 생성되면 Redis®를 통해 데이터셋 정보를 알려줍니다. 실시간으로 데이터 생성 알림을 받으려면 Data Process Workflow에서 정의하는 Redis Subscription 정보를 이용합니다.
Search APls
기간과 Recipe ID, Lot ID, Wafer No. 등의 context를 조건으로 하여 Fingerprint 데이터를 검색할 수 있는 일련의 API를 제공합니다. 자체적으로 구축하는 분석 시스템에 쉽게 연동할 수 있습니다.
Analysis Result Notifications
데이터셋 분석 결과도 생성되는 즉시 알림을 받을 수 있습니다. 자체적으로 대시보드를 만들거나 실시간 인터락 등 사후 조치에 활용할 수 있습니다.
Download APls
검색된 Fingerprint 데이터는 공정의 길이에 따라 다양한 크기로 생성되며, BOB 데이터의 크기도 상이하다고 언급하고 있습니다. Pattern FDC 서버는 Fingerprint 데이터를 관리하고, Download API를 통해 암호화된 BOB와 Fingerprint 데이터를 받을 수 있는 방법을 소개하고 있습니다.
PARTNERS
BUSINESS PARTNERS
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두플의 기술과 서비스를 신뢰해주시는 고객 여러분의 성원에 감사드립니다. 끊임없는 혁신과 도전으로 고객 감동을 실현하겠습니다.
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