안정성

/ Infini∞A EQ Platform 활용, EDA 모든 Service 및 기능 지원

/ Performance 및 기능 안정성 확보

표준화

/ Data 수집 체계 및 Interface 표준화로 효율성 향상

/ Client – Server Interface 체계 통일

/ Session 관리, Metadata생성, DCP 관리

Data통합

/ 분산된 Data 수집 체계를 EDA Interface로 통합

/ 완전한 설비 분석 체계 구축

/ Pump, Chiller, Scrubber 등의 부대 장치 Data 통합

/ RGA, OES, Laser 등 부가 센서 Data 통합

모니터링

/ 모니터링 확장 Fab 전체의 Server (IPC) 성능 감시

/ Metadata 모델링 정보 중앙 관리